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        成功案例
        • 真空清洗機
        • 真空干燥自動超聲波清洗機
        • 真空干燥清洗機

        設備名稱:真空干燥式全自動超聲波清洗機

        設備型號:FWA-850TEK
        清洗對象:集成電路芯片
        使用廠家:愛普生精密電子 (蘇州)有限公司

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        詳細參數 Parameter

        FWA-850TEK型清洗機采用流行環保水基清洗工藝,具有如下優點。

        (1)  設計先進、合理,充分考慮了環保和節能的要求;

        (2)  獨特的鋸齒狀四周溢流,清洗區液體干凈,無二次污染;

        (3)  采用全封閉式結構,運行部件設計充分考慮防止污染;

        (4)  超聲波震動板懸空式安裝配合槽底傾斜式設計,槽體清洗清理方便快捷;

        (5)  清洗過程中超聲波+拋動輔助,有效提高清洗效率;

        (6)  精巧的等工位移載結構能最大限度地減少輔助運行時間,保正工藝參數實施的準確性;

        (7)  多臂機械手提升、橫移均采用導軌導柱導向,定位準確、運行五平穩,流暢;

        (8)  升降裝置配有防壓機構,壓籃故障自動停機并報警,使用安全無憂;

         工作機理:

        待清洗工件放入料框內,由人工將料框放上入料口,多臂機械臂按PLC指定的程序將料框搬送到相應工位;完成對工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料臺出料。多臂機械手由氣缸橫向驅動,直線滑軌導向;上下提升由馬達驅動,直線導軸導向;采用觸摸屏操作系統,有手動和自動切換開關及有關操作按鈕,能對整個運行過程實行控制。

        清洗工藝流程:


        工藝名稱

        時間(min)

        介質

        過濾

        方式

        超聲功率

        超聲頻率

        使用

        溫度

        01

        超聲清洗

        5-8

        堿洗劑

        循環

        1200W

        40Khz

        60±5

        02

        超聲清洗

        5-8

        純水

        自循環

        1200W

        40Khz

        常溫

        03

        超聲清洗

        5-8

        純水

        自循環

        1200W

        40Khz

        常溫

        04

        超聲清洗

        5-8

        酸洗劑

        循環

        1000W

        80Khz

        60±5

        05

        超聲清洗

        5-8

        純水

        自循環

        1000W

        80Khz

        常溫

        06

        超聲清洗

        5-8

        純水

        自循環

        1000W

        120Khz

        80±5

        07

        吸引干燥

        5-8

        熱風

        循環

        -

         

        125±5

        08

        真空干燥

        5-8

        真空

        抽氣

        -

        -

        80±5


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